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美國SVT激光分子束外延設(shè)備/LMBE/Laser MBE

美國SVT激光分子束外延設(shè)備/LMBE/Laser MBE

更新時間:2024-11-28

產(chǎn)品型號:SVTA-LMBE

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:美國SVT激光分子束外延設(shè)備/LMBE/Laser MBE:
Laser MBE具備PLD和傳統(tǒng)MBE的特點,對薄膜的生長速率進行精確(原子層級別)控制。設(shè)備特點是在MBE系統(tǒng)上增加激光燒蝕工藝,系統(tǒng)可以生長包括高熔點陶瓷以及多元素固體材料等各種材料。SVT有20年的MBE設(shè)備制造經(jīng)驗,我們擅于通過在線監(jiān)控薄膜生長來提高薄膜質(zhì)量。

產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品簡介

Laser MBE具備PLD和傳統(tǒng)MBE的特點,對薄膜的生長速率進行精確(原子層級別)控制。設(shè)備特點是在MBE系統(tǒng)上增加激光燒蝕工藝,系統(tǒng)可以生長包括高熔點陶瓷以及多元素固體材料等各種材料。SVT有20年的MBE設(shè)備制造經(jīng)驗,我們擅于通過在線監(jiān)控薄膜生長來提高薄膜質(zhì)量。所采用的在線監(jiān)控儀器包括:溫度測量儀、厚度測量儀、RHEED、束流監(jiān)控儀等。如果您想了解更多這方面的信息,請。

 

應(yīng)用

氧化物半導(dǎo)體、高溫超導(dǎo)材料、光學(xué)晶體材料、電光學(xué)薄膜、鐵電以及鐵磁材料等

 

標(biāo)準(zhǔn)性能

● 超高真空(本底壓強<1E-10 Torr)

● 集成多種類型源,包括:

- RF等離子體源

- 熱蒸發(fā)源

- 電子束蒸發(fā)源

- 臭氧傳送系統(tǒng)

● 先進的在線監(jiān)控儀(可選)

- 原子吸收束流監(jiān)控儀

- RHEED

- 溫度以及厚度測量儀

● 6個可旋轉(zhuǎn)PLD靶

● 高功率準(zhǔn)分子激光器

● 提供合適的泵抽組合

● 多種腔室配置以滿足您的需求

● 培訓(xùn)以及服務(wù)支持

 

技術(shù)參數(shù)

Nitride Systems
Oxide Systems
Silicon Systems
Metal Organic Systems
Generic III-V and II-VI Systems
Compact MBE System (pdf brochure)
Dual Chamber MBE System (pdf brochure)

 

 

 

 

 

 

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